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SENSIRION氣體質(zhì)量流量計(jì)SFM5400系列資料

SENSIRION氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于多種應(yīng)用的多功能流量計(jì)。
SFM5400質(zhì)量流量計(jì)具有的精度(誤差<1%)、可重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性,寬動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍。SFM5400由金屬制成,且高度可配置。它采用多種機(jī)械連接和電氣接口,可測(cè)量50 sccm和200 slm之間的流量。傳感器信號(hào)可在芯片上直接轉(zhuǎn)換成數(shù)字、*校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償?shù)男盘?hào)。多個(gè)氣體校準(zhǔn)可以存儲(chǔ)在一個(gè)器件中。此外,流量計(jì)可以檢查激活的氣體校準(zhǔn)是否與實(shí)際存在氣體相匹配。SFM5400的通用性使它成為工業(yè)和醫(yī)療應(yīng)用的理想解決方案。

SFM5400質(zhì)量流量計(jì)的杰出性能基于創(chuàng)新的CMOSens技術(shù),它在一個(gè)CMOS硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號(hào)處理電路。結(jié)合材料,實(shí)現(xiàn)了一個(gè)持久穩(wěn)定、快速和高精度的質(zhì)量流量計(jì)。

SFM5400質(zhì)量流量計(jì)是SFC5400質(zhì)量流量控制器的無(wú)閥門(mén)版本。SFC5400質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計(jì)具有相同的性能特性,并適用于類(lèi)似的應(yīng)用,這兩個(gè)產(chǎn)品可以結(jié)合在一起。在SFC5400 網(wǎng)站,你可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的進(jìn)一步信息和詳細(xì)規(guī)格。

SENSIRION流量計(jì)SFM5400性能參數(shù)
高精度、低流量(< 1 sccm)
優(yōu)良的精度/可重復(fù)性(分別為測(cè)量值的0.8% / 0.1%)
寬動(dòng)態(tài)范圍(量程比1000:1)
多氣體和氣體識(shí)別
數(shù)字和模擬接口
柔性機(jī)械連接選項(xiàng):down mount、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等
高度可配置
MTBF169年-無(wú)需再校準(zhǔn)

SENSIRION流量計(jì)SFM5400應(yīng)用
分析儀器(如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析)
醫(yī)療器械(如呼吸機(jī)、麻醉機(jī))
工業(yè)過(guò)程自動(dòng)化(如涂覆、熱處理)
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積)

了解更多有關(guān)SENSIRION流量計(jì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)到站內(nèi)咨詢(xún)。

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